O alvo é embalado em um saco plástico duplo a vácuo.Defendemos que os usuários armazenem o alvo, seja de metal ou cerâmica, em embalagens a vácuo, especialmente o alvo de ligação precisa ser armazenado em vácuo para evitar que a oxidação da camada de ligação afete a qualidade da ligação. Quanto à embalagem de alvos metálicos, insistimos que o o requisito mínimo é embalá-los em sacos plásticos limpos.Abaixo do autor Beijing Richmat para compartilhar com você quais são as habilidades de armazenamento e manutenção de alvos de liga
As habilidades de manutenção sobre o alvo da liga são as seguintes:
Para evitar curto-circuito e arco devido à cavidade suja no processo de pulverização catódica, é necessário remover o centro da pista de pulverização catódica e ambos os lados do acúmulo de pulverização catódica, o que também ajuda os usuários a continuarem com a densidade de potência máxima da pulverização catódica.
Passo 1: Limpe com um pano sem lã embebido em acetona;
Passo 2: Limpe com álcool semelhante ao passo 1;
Etapa 3: Lave com água deionizada.Após a limpeza com água deionizada, o alvo é colocado em estufa para secar a 100 graus Celsius por 30 minutos.Os alvos de óxido e cerâmica são limpos com “pano sem flanela”.
Etapa 4: após a remoção da área empoeirada, argônio com gás de alta pressão e baixa umidade é usado para lavar o alvo e remover todas as partículas de impureza que possam formar arcos no sistema de pulverização catódica.
Horário da postagem: 07/06/2022