Atualmente, nos principais fabricantes de alvos de respingos do mundo, existem dois métodos diferentes para a fabricação de alvos de respingos de liga de alumínio.Uma delas é escolher o método de fundição para fabricar o lingote e depois fazer o processo de fundição.O outro é feito por moldagem por spray. Deixe o editor de Pequim compensar para você compartilhar, sobre o processo de fabricação da liga de titânio e alumínio, qual é o bom senso.
No que diz respeito aos métodos de fundição/fundição conhecidos, ao fabricar o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio, o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio é frequentemente sujeito à segregação devido à adição de elementos de liga, resultando em má qualidade do filme pulverizado, e micropartículas são fáceis de ocorrer na superfície do alvo de pulverização catódica, o que também afetará a uniformidade das propriedades do filme; No entanto, se o método conhecido de formação de pulverização for usado para fabricar o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio, embora os defeitos relacionados acima mencionados possam ser evitado, o custo de fabricação do alvo de pulverização catódica será grandemente melhorado, especialmente ao fabricar alguns alvos de pulverização catódica que não são fáceis de serem fundidos e devem ser prensados a quente, o custo será melhorado usando a prensagem a quente.
A fim de tornar o processo de fabricação de alvo de liga de alumínio e titânio mais fácil e de menor custo, um método de fabricação de alvo de pulverização catódica de liga de alumínio com pó de pulverização de ar é introduzido aqui.Seu princípio refere-se a que um pó material do alvo de pulverização catódica é fabricado pelo método de pulverização de ar de acordo com a proporção de composição da liga e, em seguida, o pó da liga é peneirado para obter o tamanho de partícula de pó apropriado.Finalmente, o pó é prensado a quente a vácuo para tornar o alvo de pulverização catódica da liga de alumínio.
Este método de fabricação de alvos de respingo de liga de alumínio com pó de pulverização de ar pode ser usado para fabricar vários alvos de respingo de liga de alumínio (alumínio-cromo, alumínio-silício, cobre, alumínio-titânio, etc.).As etapas de implementação preferidas são: fornecer materiais metálicos para a fabricação de alvos de respingos de liga de alumínio e derretê-los em metal fundido; Em seguida, o metal fundido é transformado em pó metálico pelo método de pulverização de ar;Finalmente, o pó metálico é formado por prensagem a quente a vácuo para tornar o alvo de pulverização catódica da liga de alumínio, e o gás inerte é introduzido como gás de manutenção.Este método pode evitar a segregação de dados e defeitos de micropartículas e produzir alvos de pulverização catódica de alta qualidade de forma mais rápida e barata.
Horário da postagem: 01/06/2022