Muitos usuários devem ter ouvido falar sobre o produto do alvo de pulverização catódica, mas o princípio do alvo de pulverização catódica deve ser relativamente desconhecido.Agora, o editor doMaterial Especial Rico (RSM) compartilha os princípios de pulverização catódica do alvo de pulverização catódica.
Um campo magnético ortogonal e um campo elétrico são adicionados entre o eletrodo alvo pulverizado (cátodo) e o ânodo, o gás inerte necessário (geralmente gás Ar) é preenchido na câmara de alto vácuo, o ímã permanente forma um campo magnético de 250 ~ 350 Gauss em a superfície dos dados do alvo, e o campo eletromagnético ortogonal é formado com o campo elétrico de alta tensão.
Sob o efeito do campo elétrico, o gás Ar é ionizado em íons positivos e elétrons.Uma certa alta tensão negativa é adicionada ao alvo.O efeito do campo magnético sobre os elétrons emitidos do pólo alvo e a probabilidade de ionização do gás de trabalho aumentam, formando um plasma de alta densidade próximo ao cátodo.Sob o efeito da força de Lorentz, os íons Ar aceleram até a superfície do alvo e bombardeiam a superfície do alvo a uma velocidade muito alta. Os átomos pulverizados no alvo seguem o princípio de conversão de momento e voam da superfície do alvo para o substrato com alta energia cinética. depositar filmes.
A pulverização catódica por magnetron é geralmente dividida em dois tipos: pulverização catódica tributária e pulverização catódica de RF.O princípio do equipamento de pulverização catódica tributária é simples e sua taxa também é rápida na pulverização catódica de metal.A pulverização catódica de RF é amplamente utilizada.Além de pulverizar materiais condutores, também pode pulverizar materiais não condutores.Ao mesmo tempo, também realiza pulverização catódica reativa para preparar materiais de óxidos, nitretos, carbonetos e outros compostos.Se a frequência de RF for aumentada, ocorrerá pulverização catódica de plasma de micro-ondas.Agora, a pulverização catódica de plasma de micro-ondas por ressonância cíclotron eletrônica (ECR) é comumente usada.
Horário da postagem: 31 de maio de 2022