Muitos usuários não consideram a compra de alvos do ponto de vista profissional, então o que deve ser prestado atenção ao comprar alvos?Vamos pedir ao Xiaobian de Pequim Ruichi que aponte os assuntos que precisam de atenção na compra de alvos.
Em primeiro lugar, para o alvo, a pureza é um dos seus principais indicadores funcionais, e a pureza do alvo tem um grande impacto na função do filme do produto posterior.Cada produto também possui requisitos diferentes quanto à pureza do alvo.
Em segundo lugar, o teor de impurezas de elementos individuais no alvo.Após uma série de processamento do alvo, as impurezas no sólido alvo e o oxigênio e o vapor de água nos poros são as principais fontes de poluição dos filmes depositados.Devido aos diferentes usos dos alvos, os requisitos para diferentes conteúdos de impurezas dos alvos com diferentes usos também são diferentes.Por exemplo, alvos de alumínio puro e ligas de alumínio usados na indústria de semicondutores agora têm requisitos especiais para o conteúdo de metais alcalinos e elementos radioativos.
A densidade também é um dos importantes índices de desempenho do alvo. No processo técnico do alvo, para reduzir os poros no sólido alvo e melhorar a função do filme pulverizado, geralmente é necessário que o alvo tenha uma alta densidade.A principal característica da densidade do alvo tem grande influência na taxa de pulverização catódica e afeta as funções elétricas e ópticas do filme.Quanto maior a densidade alvo, melhor será o funcionamento do filme.
Finalmente, o tamanho e a distribuição dos grãos.Normalmente, o material alvo é policristalino e o tamanho do grão pode variar de mícron a milímetro.Para o mesmo alvo, a taxa de pulverização catódica do alvo de grão fino é mais rápida do que a do alvo de grão grosso;A espessura dos filmes depositados por pulverização catódica com pequena diferença de tamanho de grão (dispersão uniforme) é mais uniforme.
Horário da postagem: 10 de junho de 2022