O amplo uso de material-alvo em várias profissões torna a demanda por material-alvo cada vez maior.A seguir Vamos apresentar brevemente você quais são os principais requisitos funcionais do alvo, hoping para ajudá-lo.
Pureza: A pureza é um dos principais indicadores funcionais do alvo, porque a pureza do alvo tem um grande impacto na função do filme.Mas, na prática, a pureza do material alvo não é a mesma.Por exemplo, com o rápido crescimento da profissão de microeletrônica, o tamanho do wafer de silício evoluiu de 6 “, 8” para 12 ″, e a largura da fiação diminuiu de 0,5um para 0,25um, 0,18um e até 0,13um.Uma vez que 99,995% da pureza alvo pode atender aos requisitos tecnológicos de 0,35UMIC.A preparação da linha 0,18um requer 99,999% ou mesmo 99,9999% de pureza do material alvo.
Densidade: Para reduzir a porosidade no sólido alvo e melhorar a função do filme de pulverização catódica, geralmente é necessário que o alvo tenha uma alta densidade.A densidade alvo afeta não apenas a taxa de pulverização catódica, mas também as propriedades elétricas e ópticas dos filmes.Quanto maior a densidade alvo, melhor será o funcionamento do filme. Além disso, a densidade e a resistência do material alvo foram aumentadas para torná-lo mais capaz de suportar o estresse térmico durante a pulverização catódica.A densidade também é um dos importantes indicadores funcionais das substâncias alvo.
Conteúdo de impurezas: impurezas no sólido alvo e oxigênio e vapor de água nos poros são as principais fontes de poluição dos filmes acumulados. Diferentes materiais alvo para diferentes fins têm requisitos diferentes para diferentes conteúdos de impurezas.Por exemplo, alvos de alumínio puro e ligas de alumínio usados na indústria de semicondutores têm requisitos especiais para teor de metais alcalinos e teor de elementos radioativos.
Horário da postagem: 06/06/2022