Os materiais alvo pulverizados têm altos requisitos durante o uso, não apenas em termos de pureza e tamanho de partícula, mas também de tamanho de partícula uniforme.Esses altos requisitos nos fazem prestar mais atenção ao usar materiais alvo de pulverização catódica.
1. Preparação para pulverização catódica
É muito importante manter a limpeza da câmara de vácuo, principalmente do sistema de pulverização catódica.Lubrificantes, poeira e quaisquer resíduos de revestimentos anteriores podem acumular poluentes como a água, afetando diretamente o vácuo e aumentando a probabilidade de falha na formação do filme.Curtos-circuitos, arcos de alvo, superfícies rugosas formadoras de filme e impurezas químicas excessivas são geralmente causados por câmaras de pulverização, armas e alvos sujos.
Para manter as características de composição do revestimento, o gás de pulverização catódica (árgônio ou oxigênio) deve estar limpo e seco.Após a instalação do substrato na câmara de pulverização catódica, é necessário extrair ar para atingir o nível de vácuo necessário para o processo.
2. Limpeza de alvo
O objetivo da limpeza do alvo é remover qualquer poeira ou sujeira que possa existir na superfície do alvo.
3. Instalação de destino
A coisa mais importante a se prestar atenção durante o processo de instalação do material alvo é garantir uma boa conexão térmica entre o material alvo e a parede de resfriamento da pistola de pulverização catódica.Se a parede de resfriamento ou placa traseira estiver muito deformada, poderá causar rachaduras ou dobras durante a instalação do material alvo.A transferência de calor do alvo traseiro para o material alvo será grandemente afetada, resultando na incapacidade de dissipar o calor durante a pulverização catódica, levando em última análise a rachaduras ou desvio do material alvo.
4. Inspeção de curto-circuito e vedação
Após a instalação do material alvo, é necessário verificar o curto-circuito e a vedação de todo o cátodo.Recomenda-se usar um ohmímetro e um megôhmetro para determinar se o cátodo está em curto-circuito.Depois de confirmar que o cátodo não está em curto-circuito, uma detecção de vazamento pode ser realizada injetando água no cátodo para determinar se há algum vazamento.
5. Pré-sputtering do material alvo
Recomenda-se o uso de gás argônio puro para pré-pulverização do material alvo, que pode limpar a superfície do material alvo.Recomenda-se aumentar lentamente a potência de pulverização catódica durante o processo de pré-sputtering para o material alvo.O poder do material cerâmico alvo
Horário da postagem: 19 de outubro de 2023