Devido à estabilidade de alta temperatura, alta resistência à migração de elétrons e alto coeficiente de emissão de elétrons de tungstênio refratário e ligas de tungstênio, alvos de tungstênio e liga de tungstênio de alta pureza são usados principalmente para a fabricação de eletrodos de porta, fiação de conexão, camadas de barreira de difusão, etc. circuitos integrados e possuem altos requisitos de pureza, conteúdo de elementos de impureza, densidade, tamanho de grão e uniformidade de estrutura de grão dos materiais.Agora vamos dar uma olhada nos fatores que afetam a preparação do alvo de tungstênio de alta pureza.
1、 Efeito da temperatura de sinterização
O processo de formação do embrião alvo de tungstênio é geralmente feito por prensagem isostática a frio.O grão de tungstênio crescerá durante o processo de sinterização.O crescimento do grão de tungstênio preencherá a lacuna entre os limites dos grãos, melhorando assim a densidade do alvo de tungstênio.Com o aumento dos tempos de sinterização, o aumento da densidade do alvo de tungstênio diminui gradualmente.A principal razão é que após a sinterização múltipla, a qualidade do alvo de tungstênio não mudou muito.Como a maioria dos vazios no limite do grão são preenchidos com cristais de tungstênio, após cada sinterização, a taxa geral de mudança de tamanho do alvo de tungstênio tem sido muito pequena, resultando em espaço limitado para o aumento da densidade do alvo de tungstênio.Com o processo de sinterização, os grãos de tungstênio cultivados são preenchidos nos vazios, resultando em uma maior densidade do alvo com menor tamanho de partícula.
2. Efeito do tempo de espera
Na mesma temperatura de sinterização, a compactação do alvo de tungstênio será melhorada com o prolongamento do tempo de retenção da sinterização.Com o prolongamento do tempo de retenção, o tamanho do grão de tungstênio aumentará, e com o prolongamento do tempo de retenção, os tempos de crescimento do tamanho do grão diminuirão gradualmente, o que significa que aumentar o tempo de retenção também pode melhorar o desempenho do alvo de tungstênio.
3. Efeito da rolagem nas propriedades alvo
A fim de melhorar a densidade do material alvo de tungstênio e obter a estrutura de processamento do material alvo de tungstênio, a laminação em temperatura média do material alvo de tungstênio deve ser realizada abaixo da temperatura de recristalização.Se a temperatura de laminação do tarugo alvo for alta, a estrutura da fibra do tarugo alvo será grosseira e vice-versa.Quando a taxa de laminação a quente atinge mais de 95%.Embora a diferença na estrutura da fibra causada por diferentes grãos originais ou diferentes temperaturas de laminação seja eliminada, a estrutura interna do alvo formará uma estrutura de fibra relativamente uniforme, portanto, quanto maior a taxa de processamento da laminação a quente, melhor será o desempenho do alvo.
Horário da postagem: 15 de fevereiro de 2023