Requisitos de desempenho para materiais alvo na indústria de armazenamento óptico

O material alvo utilizado na indústria de armazenamento de dados requer alta pureza e impurezas e poros devem ser minimizados para evitar a geração de partículas de impureza durante a pulverização catódica.O material alvo usado para produtos de alta qualidade exige que o tamanho de suas partículas de cristal seja pequeno e uniforme e não tenha orientação de cristal.Abaixo, vamos dar uma olhada nos requisitos da indústria de armazenamento óptico para o material alvo?

1. Pureza

Em aplicações práticas, a pureza dos materiais alvo varia de acordo com as diferentes indústrias e requisitos.Contudo, em geral, quanto maior for a pureza do material alvo, melhor será o desempenho do filme pulverizado.Por exemplo, na indústria de armazenamento óptico, a pureza do material alvo deve ser superior a 3N5 ou 4N

2. Conteúdo de impurezas

O material alvo serve como fonte de cátodo na pulverização catódica, e as impurezas no sólido e o oxigênio e o vapor de água nos poros são as principais fontes de poluição para a deposição de filmes finos.Além disso, existem requisitos especiais para alvos de diferentes utilizações.Tomando como exemplo a indústria de armazenamento óptico, o teor de impurezas nos alvos de pulverização catódica deve ser controlado em níveis muito baixos para garantir a qualidade do revestimento.

3. Tamanho de grão e distribuição de tamanho

Normalmente, o material alvo possui uma estrutura policristalina, com tamanhos de grãos variando de micrômetros a milímetros.Para alvos com a mesma composição, a taxa de pulverização catódica de alvos de grãos finos é mais rápida do que a de alvos de grãos grossos.Para alvos com diferenças menores no tamanho dos grãos, a espessura do filme depositado também será mais uniforme.

4. Compacidade

A fim de reduzir a porosidade no material alvo sólido e melhorar o desempenho do filme, é geralmente necessário que o material alvo de pulverização catódica tenha uma densidade elevada.A densidade do material alvo depende principalmente do processo de preparação.O material alvo fabricado pelo método de fusão e fundição pode garantir que não haja poros dentro do material alvo e que a densidade seja muito alta.