O objetivo da limpeza do alvo é remover a possível poeira ou sujeira da superfície do alvo.Agora, o editor da Rich Special Material Co., LTD. (RSM) compartilhará com você as quatro etapas para limpar alvos de metal:
O primeiro passo é limpar com um pano macio e sem fiapos embebido em acetona;
A segunda etapa é semelhante à primeira, limpando com álcool;
Etapa 3: limpe com água deionizada.Após ser lavado com água deionizada, o alvo é colocado em estufa e seco a 100 ℃ por 30 minutos.Os alvos de óxido e cerâmica devem ser limpos com “pano sem fiapos”.
A quarta etapa é lavar o alvo com argônio com alta pressão e baixo teor de água para remover todas as partículas de impureza que possam formar um arco no sistema de pulverização catódica.
Nota: ao manusear o alvo, use luvas de manutenção limpas e sem fiapos para evitar absolutamente o contato direto com o alvo com as mãos.
Horário da postagem: 24 de junho de 2022