O consultor técnico da RSM compartilhará com você as vantagens dos alvos cilíndricos e planares de pulverização catódica de magnetron?Em comparação com outros alvos de pulverização catódica de magnetron, os alvos de pulverização catódica cilíndrica e plana de magnetron retêm as vantagens da boa uniformidade de revestimento de alvos planares retangulares e podem maximizar a utilização dos alvos através das duas maneiras a seguir:
(1) Quando os dois grupos (quatro) de poços anulares na superfície do alvo atingem uma certa profundidade, o núcleo alvo (parte magnética) pode ser girado 45 ° em relação ao tubo alvo, de modo que outras áreas no tubo alvo que não foram corroídos podem ser usados;
(2) Quando o núcleo alvo do alvo de pulverização catódica de magnetron cilíndrico e planar é projetado como um núcleo alvo rotativo (o núcleo alvo está girando durante a pulverização catódica), a superfície do alvo pode ser pulverizada uniformemente camada por camada sem poços.Neste momento, o alvo será usado de forma mais eficaz e a taxa de utilização do alvo pode chegar a 50% ~ 60%. Quando o material alvo é metal precioso, isso é obviamente de grande importância.
Usando o princípio do ímã com sapata polar no alvo de pulverização catódica de magnetron cilíndrico coaxial para resolver o problema do campo magnético final, o alvo plano retangular pode ser transformado em um alvo de pulverização catódica de magnetron cilíndrico e planar, o alvo pode maximizar a taxa de utilização do alvo mantendo ao mesmo tempo a boa uniformidade do revestimento do alvo plano retangular, de modo a melhorar os benefícios econômicos.
Horário da postagem: 04/07/2022