O alvo de liga de titânio de pulverização catódica e o metal de titânio são compostos de titânio, então a informação é aproximadamente a mesma, mas a diferença entre os dois reside principalmente no alvo de liga de titânio de pulverização catódica é feito de metal de titânio de várias maneiras, e o titânio ocorre na natureza como um minério de titânio.Os alvos de liga de titânio podem ser amplamente utilizados em muitas categorias ocupacionais. Agora, o autor de Beijing richmat resumiu vários alvos comuns de liga de titânio em termos de uso da situação para nos dar uma introdução detalhada.
一、Alvos Ti para circuitos integrados
Os requisitos para pulverização catódica de alvos de liga de titânio são diferentes entre circuitos não integrados e circuitos integrados.Em geral, os circuitos integrados têm requisitos mais elevados para dados de revestimento, como maior pureza, tamanho de grão menor e precisão de escala mais precisa. A pureza dos alvos de titânio em circuitos integrados é superior a 99,995%, que é superior à usada em circuitos não integrados. circuitos, indicando que os diferentes usos dos requisitos de alvo de titânio são muito diferentes.
二、Ti alvo para tela plana
Os alvos de liga de titânio usados em telas planas incluem tela de cristal líquido, tela de plasma, tela de eletroluminescência e tela de emissão de campo. A película fina da tela plana é o método de formação por pulverização catódica, Al, Cu, Ti e Mo são os principais alvos de pulverização catódica de metal para tela plana monitores.A pureza dos alvos de liga de titânio para monitores de tela plana é geralmente superior a 99,9%.
三、Alvos de Ti para materiais decorativos
O material alvo de liga de titânio de alta pureza tem excelente resistência à corrosão do ar, o uso a longo prazo no ar não muda de cor, para garantir que a cor original do titânio e o contato humano não seja alérgico e outras características excelentes.Portanto, o titânio de alta pureza também pode ser usado como materiais decorativos, nos últimos anos, como pulseiras, relógios e óculos e outros ornamentos com pureza de titânio atingiu o nível 5N.
四、Alvos de Ti para sistemas de bombeamento de ultra-alto vácuo
Por ser um metal quimicamente ativo, o titânio pode reagir com muitos elementos e compostos em altas temperaturas.O alvo de liga de titânio de alta pureza tem uma forte capacidade de adsorção para gases ativos (como O2, N2, CO, CO2, vapor de água acima de 650°C), e o filme de Ti que evapora na parede da bomba pode formar uma superfície com alto desempenho de adsorção .Esta propriedade torna o Ti amplamente utilizado como getter em sistemas de extração de gás de ultra-alto vácuo. Se usado para melhorar a bomba, bomba de íons de pulverização catódica, etc., pode tornar a pressão operacional final da bomba de íons de pulverização catódica tão baixa quanto 10-9PA
Horário da postagem: 25 de abril de 2022